采⽤宽带光源的⼲涉原理,光源照射的光由分光镜分为 两束光,⼀束⼊射到参考镜,另外⼀束照射到物体上,两束 光反射合束时发⽣⼲涉,由光学接收器接收⼲涉光强。上下 驱动内部光学单元时,接收到不同⾼度的⼲涉图案,通过算 法处理得到被测物体表⾯的⾼度值。
特点:
•垂直扫描,⽆阴影阻挡,⽆台阶影响
•安装简单,不需要⾼精度的复杂运动机构
•⾼达0.1μm的重复精度,数据真实可靠
•快速测量,瞬间得到3D数据
•可⽀持各种语⾔的SDK,供⽤⼾进⾏⼆次开发
•可测量任何颜⾊的物体,⾦属、陶瓷、玻璃等各类材料均可以测量
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